2020年9月11日（周五）武汉新闻汇总

长江大桥

央媒打call！两大国家级平台携“光芯屏智”硬核产品惊艳亮相

武汉光电工业技术研究院有限公司  昨天
9月9日至11日，武汉光电国家研究中心、光电工研院展团亮相第22届中国国际光电博览会，面向全球3000余家光电子领域的重点企业和近万名专业观众，展示在抗击新冠肺炎疫情和破解核心技术“卡脖子”难题过程中发挥关键作用的高新技术产品，并现场发布9纳米三维激光直写系统，引发广泛关注。

展位现场行业专家云集
9日上午，开幕式结束不久，中国科学院院士、武汉光电国家研究中心主任骆清铭来到武汉光电国家研究中心、光电工研院展位，参观考察电光调制芯片、医学导航系统、三维激光直写系统、聚酰亚胺薄膜、UVC-LED等光电前沿技术产品。

现场，骆院士详细询问了各个项目的产业化情况，勉励研发人员摒弃杂念，保持专注，全力开展核心技术攻关。



当天，东湖高新区招才局人才办副主任王湘雷、宝能投资集团副总经理袁宁等也莅临展位视察指导工作。

9nm三维激光直写系统重磅发布
在9日下午举办的超快激光制造技术研讨会上，光电工研院对外重磅发布三维激光直写系统。

该设备针对科研市场和小批量微纳器件制造工业需求，可实现最小线宽9nm，最小线间距52nm的微纳制造。

“我们的设备，利用连续激光光源就能实现飞秒激光的效果，极大降低了成本，具备一定的价格优势。”新品发布现场，甘棕松教授介绍。

“与此同时，该设备采用双光束进行激光直写，有效规避了国外专利封锁和主流EUV光源研发难题，在成本降低的同时，让微纳制造突破光学衍射极限成为可能，不用刻意追求短波长也能够实现10nm以内的光刻制程。”

“光芯屏智”产品吸引央视目光
能够实现360度全景融合感知的MLMS芯片、30秒杀灭99.9%细菌的深紫外消毒包、柔性OLED显示上游“卡脖子”材料聚酰亚胺薄膜……



展会期间，两大国家级平台一批覆盖“光芯屏智”细分领域的拳头产品，引发中央电视台等媒体关注。

现场，不少观众在40GHz薄膜铌酸锂电光调制芯片前停留。武汉光电国家研究中心教授夏金松介绍，光通信需要将信息加载到光载波上，调制器是不可或缺的核心器件。

“我们的芯片是一个由新材料薄膜磷酸锂制作的调制器，相比传统材料尺寸更小、驱动电压更低、带宽更大，还可以做集成。”夏教授介绍，2012年开始项目研发，目前该芯片性能已达世界领先水平，在光通信、雷达领域都有广泛应用。

分子靶向肿瘤荧光手术导航系统成功吸引央视目光。通过视频，武汉光电国家研究中心王平教授团队成员陆斌霞展示了系统如何“逮住”肿瘤助医生精准切除病灶的全过程。


展台前，武汉光电国家研究中心韩宏伟教授团队的成员们，则开启了全球首个可印刷介观钙钛矿太阳能系统稳定发电网上直播。

透过手机屏幕，不断跳动的示范性电站电表实时示数，也意味着稳定发电、廉价光伏发电或将成为可能。


“是自主研发吗？”“成本怎么样？”展会期间，UVC消毒产品、全光谱护眼台灯、微型显微相机等终端产品亦收获大量意向订单。聊到尽兴处，有观众甚至直接现场购买产品进行体验。

长江大桥

工研闪报 | 国内光刻光源专利“冒尖”，LPP-EUV路线外再辟新思路
2020-08-21
分享到：
今年年底，国家02专项光刻机项目二期将迎验收节点，相继攻克曝光及双工作台系统等难关后，国内针对以光源为代表的光刻机核心组件的研发力度依旧不减，一批核心专利先后“冒尖”，光源研发思路进一步拓展。

image.png
历年国内光源相关专利申请情况:近几年光刻机光源相关专利申请保持活跃态势

作为光刻机核心组件之一，已知紫外光刻光源的商用方案分为同步辐射型光源、放电等离子体型光源和激光等离子体(LPP)型光源。其中LPP-EUV因功率可拓展、极紫外辐射收集效率高等特性成为当今工艺制程最先进的极紫外光刻机光源主流选择。

但事实上，LPP-EUV仍存弊端。其通过激光照射金属靶材形成等离子体，进而产生EUV辐射的过程中，大量的金属碎屑会对极紫外光收集镜等光学元件造成污染，从而影响LPP-EUV光源的长期运行稳定性。

为解决上述问题，以ASML为核心的上下游利益链厂商，以及致力于光刻产业链国产替代的国内厂商和科研院所各显手段。

今年2月底，ASML下游厂商台湾积体电路制造股份有限公司就发布了极紫外辐射源装置专利[1]。

image.png
左图为极紫外辐射源/极紫外辐射源装置的示意图；右图为清洁气体排放口示意图

该装置在腔室中提供三个或更多个清洁气体排放口，借助气体流通形成的均匀气流带走因激光撞击靶材产生的金属残余物，有效避免收集镜上污染区域累积，从而增加了极紫外光收集镜的寿命和极紫外光微影系统的生产量，并降低了收集镜的维护成本。

中国科学院上海光学精密机械研究所则在今年7月公布的专利中[2]，为光源系统设置了磁镜装置，利用磁镜装置所产生的非均匀磁场对等离子体进行约束，从而抑制LPP所产生的碎屑对光学元件造成的污染。

image.png
左图是基于等离子体约束的LPP-EUV光源系统结构示意图；右图是磁镜装置结构示意图

与此同时，在非均匀磁场的作用下，大量带电粒子被限制在磁镜装置中剧烈运动，增强了等离子体中的粒子碰撞效应，LPP-EUV光源的功率输出能力也得到了进一步提升。
双光束路线或引领国产光刻机制程突破
事实上，除了LPP-EUV光源，探索光刻光源国产化过程中，以中国科学院、华中科技大学为代表的多家科研院所和半导体厂商亦进行了不少另辟蹊径的探索。其中双激光束技术路线的出现，有效规避了国外专利封锁和主流EUV光源研发难题，让光刻机光源突破光学衍射极限成为可能，不用刻意追求短波长也能达到10nm以内的光刻制程。

7月初，中科院研究团队就在Nano Letters上发表题为《超分辨率激光光刻技术制备5nm间隙电极和阵列》的论文[3]。实验室环境下，研究团队在无机钛膜光刻胶上，采用双激光束（波长为405nm）交叠技术，实现1/55衍射极限的突破（NA=0.9），达到了最小5nm特征线宽，一时引发热议。

image.png
左图为双束交叠加工技术示意图；右图为5nm狭缝电极电镜图

同样，在中国光谷，武汉光电国家研究中心相关团队早在2018年就发布专利[4]，提出一种双光束微纳光学制造方法，通过调制辅助光，搭配自研光刻胶，使可见光制造实现10纳米以下的特征尺寸和50纳米的分辨率。

image.png
双光束光学微纳制造方法应用在单焦点激光直写的装置图

目前，该技术正依托武汉光电工研院进行产业化，团队基于双光束超分辨纳米光刻技术已经实现了最小线宽9nm、最小线间距52nm的高精度直写光刻，9nm双光束超分辨直写光刻机已实现商用销售。双光束超分辨投影光刻实验样机也于2019年完成测试，正在开展大型工程样机的研发，快速推进产业化进程。

“通过上游并购和引入客户作股东的方式打通行业上下游，打造产业链利益共同体，ASML从默默无闻成长为光刻机霸主，我们也本着开放心态广邀各方开展技术合作，希望能趟出一条不一样的光源国产化路线。”

随着物联网、5G等技术不断发展，半导体需求未来将迎持续增长。根据IBS数据显示，2018年中国IC设计公司对晶圆制造需求约805亿元，占全球晶圆代工规模4.08亿元的19.7%，2025年时需求则将上涨至30.5%。

相关研究机构认为，在这样的格局下，实现光刻机国产化势在必行。而当前国内与国外顶尖光刻机制程存在较大差距，短时间采取举国体制仍无法突破EUV路线衍射极限限制，在此背景下，基于双光束技术的超分辨技术路线的开辟，或将为光刻机国产替代带来曙光。

论道-竹叶青

亲自冒汗 发表于 2020-9-11 15:53
好奇怪的产业划分。光芯屏端网苕大的一堆被合并成一个产业，AI、数字、超算、量子却拆成四个。还有电磁能 ...

电磁一个产业没毛病，武汉强项

论道-竹叶青

colitas 发表于 2020-9-11 17:07
电磁能和海工大的马院士有关，电磁炮，电磁弹射，还有之前马院士讲座上谈到的全能舰，都是装备发展的前沿 ...

以后还有电磁火箭，第一级省掉，空间站做到无限大

论道-竹叶青

亲自冒汗 发表于 2020-9-11 17:22
不是说电磁能不重要，可以说它能直接对国家实力产生影响。但是感觉它跟光电子产业平行排列有点古怪，它应 ...

那就狭隘了，电磁火箭，省略第一级，以后空间站，火箭发射，人类真正进入太空，都离不开他，不然你靠化学能，那载荷始终是问题，电磁发射理论上可以做到无限大，海军以及军工的应用才是小头

sy55

伊尔根觉罗 发表于 2020-9-11 19:18
武汉高校现在的管理是除非死人翻船治病救人，否则封闭式管理，学生不许随意出校

没有那么严重

firefly1130

anson908 发表于 2020-9-11 08:49
联想武汉炼出“刀锋”
首款折叠屏5G手机下线
武汉智造开启疫后重振加速度

感觉曾经的翻盖摩托罗拉又回来了

云中一梦

abcdefgjn 发表于 2020-9-11 14:27
卓尔今天能赢的话基本确定进夺冠组

0：1，现在是保级压力增大

rickSmith

明年六月新增一条三地快速通道，市民从东西湖前往黄陂更方便发布时间：2020年09月11日22:09 来源： 楚天都市报看楚天

楚天都市报9月11日讯（记者张吉晴 通讯员程曦 李义武 刘君）还在被路上堵车而烦恼？今后从东西湖前往黄陂会更便捷，记者从东西湖获悉，S108武汉段府河主桥下部结构及童家湖互通下部结构已全部完成，预计明年六月份实现通车。

据了解，S108武汉段府河大桥该项目起于东西湖区柏银公路与慈天公路一期交叉口，经刘家咀向北，跨府河、童家湖与孝汉大道相交，全长3.675公里，桥宽31.5米，设计速度80公里/小时，项目包括府河大桥和童家湖枢纽互通。

目前S108武汉段府河大桥项目今日到T梁铺设阶段， 中交一公局府河大桥项目现场副经理王凯介绍到，T梁架设机平均每天能架设八片，本来按正常工期一台桥机是足够满足工期范围内的时间，但是受疫情和汛期的影响，耽误了工程进度，为了加快工程进度，现在除了这一台架桥机之外，又重新组装了一台架桥机。目前该项目满负荷运行，24小时施工，计划明年6月份项目通车。”

东西湖区交通局相关负责人表示，项目建成后，将形成东西湖区、黄陂区、孝感市三地快速通道，有效促进三地区域经济发展。

Heartache

武汉的赛马能批的机率极低！这里有一篇文章https://mp.weixin.qq.com/s/fkBnCNG0MOtKzSEfXaOtXA说的是海南的博马梦。
2020年6月1日，《海南自由贸易港建设总体方案》公布，A股赛马概念板块应声下挫。
2020年6月8日，在国务院关于《海南自由贸易港建设总体方案》的新闻发布会上，海南省委书记刘赐贵表示，在自贸港的推进建设过程中，不允许在意识形态方面破坏社会主义制度，不允许搞黄赌毒。
会后，当记者问起海南未来是否会发展赛马业时，刘赐贵直截了当回应：“没有”。

tidusf

神龙不知道能不能满血啊，感觉难

samknight

不做奢望，除非把4008改后独立悬挂，配老408的EW10A发动机，一步到位降到11万，还有一丝翻身机会

dp47

这个是基于什么数据评比的？

110514390

samknight 发表于 2020-9-12 11:05
不做奢望，除非把4008改后独立悬挂，配老408的EW10A发动机，一步到位降到11万，还有一丝翻身机会

4008卖11万？比思域低？你想啥呢？当富康卖？

伊尔根觉罗

samknight 发表于 2020-9-12 11:05
不做奢望，除非把4008改后独立悬挂，配老408的EW10A发动机，一步到位降到11万，还有一丝翻身机会

我觉得现在还在买标致雪铁龙的车的车主，都是在做慈善。。。