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发表于 2020-4-14 10:19:41
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  “相比于荷兰的第五代极深紫外光刻机,我们研制的第六代双光束超分辨光刻机的样机目前离大规模集成电路制造尚有一点差距,这主要受制于资金而不是技术。”甘棕松告诉长江日报记者,第六代双光束超分辨光刻机因为是小型样机,一次曝光面积不大,但是较低性能版本的设备目前已经在国内实现了售卖。第六代双光束超分辨光刻机不仅可以解决我国高端光刻机有无问题,而且还能够以极高的性价比优势颠覆芯片制造领域的国外技术垄断。 
这项光电国家研究中心的重要技术应该加快投入资金,并设立公司开始转化啊,否则会一直受制于人。中芯国际的光刻机现在还没到货?两年了。中国芯真的被外国卡死了,唯有自己干。疫情过后西方卡我们还会更厉害! |
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