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发表于 2025-11-18 10:15:49
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在一间数十平方米的实验室里,深圳职业技术大学集成电路关键材料研究院特聘教授滕超正带领团队用自主研发的高纯度光敏剂,打造一款光敏聚酰亚胺光刻胶(PSPI)产品。PSPI是半导体、芯片封装以及液晶面板制造的关键材料,这些关键材料曾长期被国外巨头垄断。随着中国半导体产业迅猛发展,企业对国产高性能、高可靠性的高端关键材料需求更加迫切。
为助力国内芯片产业链供应链重要原料的自主可控,深职大携手半导体及集成电路头部企业,建设真实对接产业的专业化中试产线,构建具有自主知识产权的PSPI配方库和国产PSPI应用标准及工艺方案。其中滕超团队研发的PSPI,突破了专利、原材料、技术、应用等壁垒,经过企业多轮测试验证,可以满足进口替代要求,还被用于部分IGBT器件的芯片制造。
近年来,深职大集成电路关键材料研究院(以下简称“研究院”)坚守应用导向、产品导向、服务导向,瞄准集成电路领域“高精尖缺”技术,构建产业牵引的科研体系,形成“需求发掘—技术研发—产业转化”三位一体高效循环的“产学研用”模式。研究院纵向破解基础研究、工艺优化、中试验证到量产应用的衔接梗阻,横向打破“产学研用”从技术研发到成果转化的壁垒,努力跨越基础研究向技术转化的“死亡谷”,为深圳乃至粤港澳大湾区集成电路产业链提供强劲支撑。
产业需求成科研攻关重点“风向标”
在半导体显示行业里,精确控制液晶层厚度的LCD间隔物微球材料,问世约40年了,但供应和技术仍被日本企业攥在手里。某半导体企业搜寻到研究院专家发表的微球材料相关文章,主动找上门与研究院合作。
从做实验、采集数据到分析、测试每个环节,滕超团队协同企业,突破了前端研发、中试过程中的多个技术难关,实现了高精度微球材料量产。这是中国首个能够全面通过平板显示行业测试,并具备量产能力的高精度微球材料产品。首批微球材料成功应用于企业产线,并赢得市场高度认可后,信任的“雪球”持续扩大。合作企业将液晶配向膜等一系列研发项目,相继委托给研究院。
“随着我们与企业合作愈加紧密,我们发现,我国集成电路行业还有很多材料急需国产化。这激发了我们强烈的使命感。我们要充分发挥研究专长,勇于担当作为,为高水平科技自立自强作出更大贡献。”研究院院长王勇说,研究院在高分子材料领域人才较多、根基扎实,于是紧抓战略窗口期,全力服务关键材料国产化替代。
研究院紧盯产业所需、企业所急、自身所优,充分发挥自身人才团队、科研平台的优势,着力研发半导体显示微球、半导体显示用功能性聚合物材料等创新产品。而半导体显示是集成电路产业链的重要下游环节,这类研发合作让研究院得以深度触达集成电路企业,进而更精准了解该产业在电子材料领域的技术痛点,精准锚定集成电路电子材料及工艺等科研攻关重点。 |
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